臺式電鏡SEM的維護(hù)保養(yǎng)方法主要包括冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、空氣壓縮機(jī)、機(jī)械泵、烘烤和機(jī)械對中等關(guān)鍵部件的維護(hù)。這些保養(yǎng)措施確保了SEM的性能和壽命,并防止了環(huán)境因素對其造成的不良影響。
-檢查與記錄:每月至少檢查一次冷卻循環(huán)水的水位,并及時補(bǔ)充。同時,每半年更換一次過濾網(wǎng),并清洗冷卻水。
-緊急處理:在發(fā)現(xiàn)泄漏或水位下降過快時,應(yīng)立即停止使用SEM,并聯(lián)系專業(yè)技術(shù)人員進(jìn)行維修。
-排水與清潔:每半個月至少進(jìn)行一次內(nèi)部排水,以確??諝鈮嚎s機(jī)的正常運(yùn)行。
-油霧收集器:當(dāng)油霧收集器附著油液或有油煙時,需要立即停機(jī)更換油泵,并更換油。
-油霧收集器:機(jī)械泵的油霧收集器需每半年更換一次,當(dāng)油變?yōu)椴枭珪r,應(yīng)立即更換機(jī)油。
-定期檢查與維護(hù):定期檢查機(jī)械泵的運(yùn)行狀態(tài),確保其無異常噪音或振動。
臺式電鏡SEM的工作原理:
電磁透鏡用于聚焦電子束。通過特定設(shè)計的電極之間形成等勢面曲線,可以對電子束進(jìn)行精確聚焦,使其達(dá)到納米級別的束斑直徑。
掃描系統(tǒng)控制電子束在樣品表面的逐行掃描,確保每個像素點都被覆蓋。為了消除像散現(xiàn)象(即電子束在透鏡磁場中偏離設(shè)計軌跡),需要使用消像散器。消像散器通過調(diào)整磁場,使不同路徑上的電子束重新會聚到一點,從而提高圖像質(zhì)量。
探測器收集電子與樣品相互作用后產(chǎn)生的信號。常見的探測器包括閃爍體加光電倍增管、半導(dǎo)體探測器等。信號經(jīng)放大器放大后輸入顯示器,形成圖像。
-清潔與保養(yǎng):定期清潔樣品臺以及探針,確保SEM獲得清晰、準(zhǔn)確的圖像。
-檢查與更換:檢查樣品臺表面是否有殘留物或污垢積聚,如有需要及時清理。同時,定期檢查探針的工作狀態(tài),如有損壞或老化應(yīng)及時更換。
-溫度與濕度:實驗室環(huán)境溫度應(yīng)長期維持在20~24°C之間,濕度保持在50%以下。這有助于防止設(shè)備受潮、腐蝕或其他不良影響。
-室內(nèi)清潔:保持室內(nèi)清潔衛(wèi)生,嚴(yán)禁在室內(nèi)喝水、飲食,以避免污染和損害設(shè)備。